2016 年，承接國家“02-專項”，現(xiàn)已建成具備合成、純化、分析、封裝等功能的ALD前驅(qū)體研發(fā)中心和生產(chǎn)線，完全滿足相關芯片產(chǎn)品的制造要求。

2017年11月，引入陶氏化學的高K三甲基鋁生產(chǎn)線，2020年10月正式投產(chǎn)，在開發(fā)高端半導體的進程中，扮演關鍵材料供應商的重要市場角色。 2020年12月，跨國并購杜邦集團19項專利資產(chǎn)組，6項技術屬于全球首創(chuàng)技術，一舉邁入國際領先的前驅(qū)體材料企業(yè)行列。

目前，砷烷品質(zhì)己達到7N，技術居全球前列，產(chǎn)能躍居全球第一，并進入國際一流公司供應鏈。磷烷的技術水平也已居全球前列，產(chǎn)能為全球第二。

2019年8月，南大光電成功并購飛源氣體，開始布局氟系列電子特氣。依托南大光電客戶、機制和技術優(yōu)勢，進行60多項技術創(chuàng)新，迅速提升產(chǎn)能、品質(zhì)，降低成本，二年實現(xiàn)三氟化氮產(chǎn)能4000噸、六氟化硫產(chǎn)能3000噸，成本全球領先，產(chǎn)能國內(nèi)第二、全球第三。

一是擴展現(xiàn)有高純磷烷、高純砷烷氫類電子特氣，進軍氟系、硅系和硼系特種氣體；
二是持續(xù)開發(fā)先進純化工藝、先進吸附劑及負壓安全吸附技術以及特種氣體廢氣處理材料，提升電子特氣產(chǎn)品純度，尤其7N級別高純磷烷砷烷、5N級別BF3等高端領域的應用；
三是 “123”新奮斗目標：在內(nèi)蒙古打造一個世界級的氟硅電子材料基地，實現(xiàn)“綠色能源+綠色制造”，以“雙綠”躋身世界；培養(yǎng)三個世界單項冠軍。

2019年底，公司在寧波市北侖區(qū)完成了第一條光刻膠生產(chǎn)線建設，產(chǎn)能達到10噸/年的規(guī)模， 第二條光刻膠生產(chǎn)線于2020年完成建設，總產(chǎn)能達到25噸/年。同時在國家重大科技攻關項目的支持下，向光刻膠配套原材料領域展開技術攻關。
2020年4月，成為中國首個購買ASML 193nm浸沒式光刻機的電子材料企業(yè)。
2020年底和2021年5月，193nm ArF光刻膠先后通過存儲和邏輯兩家芯片制造企業(yè)的驗證，為量產(chǎn)打下了堅實基礎，成為國內(nèi)首個通過驗證的ArF光刻膠產(chǎn)品，ArF光刻膠研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化取得關鍵性突破，被列為國家攻克“卡脖子”工程的標桿。
2021年建黨100周年前夕，順利通過國家“02-專項”驗收。